Az első emberi településnyomok Maros megyében a neolitikum időszakából valók és a Kőrös kultúrához köthetők (Kr.e. 6000). A legjelentősebb bronzkori leletek a Segesvár melletti Wietenberg dombról kerültek elő, amely a kultúra névadójává vált. A későbronzkort a Noua kultúrához tartozó sajátos temetkezések képviselik. Kr.e. a VI században jelennek meg Erdélyben a szkíták, akikről Herodotosz görög történetíró is említést tesz "Történelem" című művében. Ebben találkozunk először a Maros folyó nevével Maris változatban. A Kr.e. IV század végén a nyugat felől érkező kelta törzsek veszik birtokukba az erdélyi medencét, majd a II. század folyamán megjelennek az első dák telepesek. Az egyik legjelentősebb dák lelőhely az előbb említett Wietenberg dombon található. Kr.u. a II. század elején létrejön Erdély területén Dácia tartomány. A Maros mentén és a mellék völgyekben több katonai tábort alapítanak, de településeiket is adatolta a régészeti kutatás. A legjelentősebb Maros megyei római település a Maroskeresztúron azonosított római város. A keleti limes (birodalmi határvonal) jelentős castellumai (katonai tábor) közül a marosvécsi, mikházai, sóváradi és segesvári található megyénkben. A római csapatok kivonása (270-274 között) után gót majd gepida törzsek lakják Erdélyt. A gótokat először Marosszentannán azonosították a XX. század elején, innen kapta nevét a Marosszentanna kultúra. Az V. században az avarok, egy évszázaddal később szláv törzsek telepedtek meg Erdélyben. Megyénkben egyik legjelentősebb településük Malomfalván található. A IX. század végén bukkannak fel az első magyar törzsek, akik a II. évezred kezdetén sikeresen alapítanak keresztény királyságot I. István megkoronázásával.

     A magyar államalapítás következményeként a mai megye területén különböző politikai-adminisztratív egységek jöttek létre és ezek a keretek az 1867-es Kiegyezésig többnyire megmaradtak. A középkorban az említett terület nagyobb hányadát az egykori székely Marosszék, kisebb részeit pedig Torda és Küküllő vármegye, valamint a szász Segesvárszék fedte. Az Árpádkori településtörténetről leginkább a régészeti adatok vallanak, ezek közül is legfontosabb a malomfalvi földvár és környezetének tervásatásain előkerült leletegyüttes. A megye középkori településhálózatát a XIV. század elejéről fennmaradt pápai tizedjegyzék alapján rekonstruálhatjuk, amelyben a ma is létező települések többsége már említve van. Megyénk területén található a középkori királyság egyik legfontosabb tisztségviselőjének a székely ispánnak görgényszentimrei vára, a hozzá tartozó uradalommal együtt. A kereskedelem fontos központjai voltak a mezővárosok, melyek közül néhány az önkormányzatiság kivívásának útján egyre több kiváltságot szerez. A középkori struktúráit máig őrző Segesvár, nem csupán az erdélyi szász kézműves és céhes központok egyike, hanem a nyugat-európai középkori város egyik legjelentősebb hazai képviselője is. A különféle szerzetesrendek - domonkos (Segesvár), ferences (Marosvásárhely, Marosfelfalu), pálos (Marosszentkirály) - a hitélet és a művelődés központjai is egyben. A mai megye középkori hagyatékát gazdagítják a román majd később gótikus stílusban épített és átépített templomok.

     Az önálló erdélyi fejedelemség időszakában kiteljesedett és befejeződött a szinte máig tartó településhálózat. Megyénk települései közül gyakran válik egy-egy a fejedelemség politikai eseményeinek központjává. A belső viszályok, a visszatérő ellenséges betörések és a pusztító járványok ellenére a térség gazdasági fejlődése nem torpan meg. Kiemelkedő szerep jut e tekintetben az immáron a székely városok közül egyedüliként szabad királyi városi rangot nyert Marosvásárhelynek, melyet céhes ipara és országos vásárai fontos kereskedelmi csomóponttá avatnak. Jelentős kézműves központ Szászrégen, melyben 17 céhet is említenek forrásaink az említett időszakban.

     A XVIII. század és a XIX. század első fele a Habsburg fennhatóság alatt álló Erdélynek a korábbihoz viszonyítva békésebb és nyugodtabb időszakát képezi. Az erdélyi felvilágosodás több meghatározó egyénisége élt és alkotott tájainkon. Itt tevékenykedett többek között Petru Maior történész, filológus, szászrégeni görög-katolikus esperes, az Erdélyi Iskola kiemelkedő egyénisége, Aranka György író, művelődésszervező, az Erdélyi magyar nyelvmívelő társaság alapítója és titkára, Georg Daniel Teutsch történész, evangélikus püspök, a szász nemzeti mozgalom képviselője, az első szász gimnázium alapítója Segesváron, a német tudományos élet fórumának a Verein für Siebenbürgische Landeskundenak alapítója. A közoktatás reformjának támogatója, az erdélyi tudományos és művelődési élet mecénása Teleki Sámuel, erdélyi kancellár, a marosvásárhelyi Tékában a könyvnyomtatás kezdeteitől a XIX. századig megjelent jelentős európai kiadványokat gyűjtötte össze. A marosvásárhelyi kollégiumban tanult, majd itt élt élete utolsó időszakában a kor jeles matematikusa Bolyai János, a nemeuklideszi geometria megalkotója.

     Ausztria-Magyarország megalakulásával területünk közigazgatási felosztása is megváltozott. A mai megye területét több egykori vármegye vagy vármegyerészek alkották: Maros-Torda (székhelye: Marosvásárhely), Kis-Küküllő (székhelye: Dicsőszentmárton), Nagy-Küküllő (székhelye: Segesvár), Kolozs és Torda-Aranyos.

     A XIX. század második felében felgyorsuló ipari fejlődés következtében Marosvásárhely immáron egyértelműen a régió vezető települése lesz. A vasúti hálózat (Marosvásárhely-Székelykocsárd, Marosvásárhely-Szászrégen, Segesvár-Brassó) kiépítése, a különböző ipari létesítmények, gyárak alapítása a gazdasági fejlődés bizonyítékai. Mindezek ellenére az összes említett városi központban a kisipar túlsúlya volt a jellemző és ezt a jelleget a XX. század elején is megőrizték.

     Az első világháborút követően újabb közigazgatási határokat szabtak meg Romániában, ekkor találkozunk először a Maros megye névváltozattal. A mainál kisebb területen fekvő megye központja Marosvásárhely volt, és a keleti megyerész magában foglalta Maroshévíz és Borszék környékét is. A Kis-Küküllő menti települések Udvarhely és Kis-Küküllő megyéhez, a Maros völgyében pedig a Nyárádtőtől nyugatra eső vidék Torda megyéhez tartozott.

     A második világháború után, szovjet minta alapján jött létre a tartományi rendszer. 1950-ben Marosvásárhely központtal létrehozták Maros Tartományt amelyhez az egykori Maros megye területe mellett újabb rajonokat csatoltak (Gyergyó, Csík, Udvarhely). 1952-ben ismét szovjet kezdeményezésre átszervezték a térséget, létrehozván a Magyar Autonóm Tartományt, Marosvásárhely központtal. A tartomány politikai és gazdasági szempontból nem rendelkezett autonómiával, kulturális és nyelvhasználati szempontból azonban szabadon érvényesülhetett a magyar nyelv.

     1960-ban újabb átszervezés folytán jött létre a Maros Magyar Autonóm Tartomány és ekkor csatolták hozzá a többségében románok lakta Ludas rajont és Dicsőszentmárton rajon egy részét. 1968-ban a tartományi rendszert felváltotta a két lépcsős, község-megye közigazgatási modell és ekkor alakultak ki Maros megye máig érvényes határai is. A megyeközpont Marosvásárhely lett, Segesvár megyei jogú város mellett a megyének további 5 városa volt: Szászrégen, Dicsőszentmárton, Marosludas és Szováta, később pedig Radnót. Az 1989-es decemberi fordulatot követően a megyei jogú városok sorába emelkedett Szászrégen és Dicsőszentmárton, 2000 után pedig további 5 település nyerte el a városi rangot: Erdőszentgyörgy, Nyárádszereda, Nagysármás és Nyárádtő. A megyének jelenleg 91 községe és 460 falusi települése van.

Berecki Sándor, Crişan Coralia, Györfi Zalán, Rus Dorin. a Megyei Múzeum szakemberei által készitett anyag.